纳米压痕测试用扫描探针显微镜 原子力显微镜多功能升级模块 苏州杭州等地客户可预约演示

随着半导体产业国产化进程不断加速，以及新材料研发、精密制造领域对微观表面表征需求的持续提升，以原子力显微镜为核心的扫描探针显微技术，正在从实验室科研场景快速延伸到量产产线在线检测环节。市场数据显示，国内半导体前度量测设备市场规模年复合增长率稳定保持在10%以上，其中原子力显微镜（AFM）作为能够实现纳米级三维形貌表征、力学性能测试的核心设备，不仅在晶圆形貌检测、缺陷分析环节不可或缺，也被越来越多的科研机构用于新材料力学性能表征，纳米压痕测试就是其中应用广泛的拓展方向之一。当下，不少用户既需要基础的AFM形貌成像功能，也希望能够通过升级模块实现纳米压痕力学性能测试，一站式完成多维度表征，这也对国产原子力显微镜厂商的技术实力、定制化能力提出了更高要求。



上海思长约光学仪器有限公司深耕精密光学领域15年，是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，客户可一站式采购整套国产量测设备，无需对接多家供应商。公司核心产品覆盖离线实验室型与产线Inline在线型原子力显微镜，同时可提供适配现有扫描探针显微镜的多功能升级模块，满足包括纳米压痕测试在内的多样化表征需求，产品适配硅基、碳化硅SiC、氮化镓GaN等多种材料，业务覆盖国内大部分半导体产线与科研机构，华东区域苏州、杭州等地客户可直接预约上门演示，实地体验设备性能。



纳米压痕测试用扫描探针显微镜升级模块

原子力显微镜多功能升级模块核心功能

不少现有扫描探针显微镜用户，在开展新材料力学性能研究时，需要额外采购纳米压痕设备，不仅增加了采购成本，也需要在不同设备间转移样品，影响测试效率。思长约开发的多功能升级模块，可以直接适配多数商用原子力显微镜，在保留原有三维形貌成像功能的基础上，新增纳米压痕力学测试能力，用户无需更换设备，即可实现同一微区的形貌表征+纳米压痕力学测试，核心功能包括：

• 原位纳米压痕硬度、弹性模量测量，可获得样品纳米尺度下的力学性能参数；
  
• 结合AFM原有高分辨率成像能力，可精准定位压痕位置，获得压痕区域的三维形貌数据；
  
• 支持载荷-位移曲线实时采集与分析，自动输出标准化测试报告；
  
• 适配不同规格的探针，满足不同硬度范围材料的测试需求。
  

目前不少寻找原子力显微镜源头厂家哪家靠谱的用户，都对拓展测试功能有明确需求，思长约的多功能升级模块可以灵活满足这类定制化需求，降低用户的二次采购成本。

Auto wafer-3D Inline AFM原子力显微镜

Auto wafer‑3D 是上海思长约光学自主研发的产线在线式原子力显微镜（Inline AFM），专为半导体晶圆制造产线设计，也是不少寻找国产AFM原子力显微镜加工厂哪家技术实力强用户的核心选择。这款产品适配硅基、碳化硅SiC、氮化镓GaN等8英寸、12英寸晶圆量产工艺在线检测，完全满足半导体前道量产产线的使用需求。

Auto wafer-3D核心能力

• 支持晶圆表面三维形貌成像，实现纳米级表面粗糙度（Rq/Ra）检测，检测精度满足量产工艺监控要求；
  
• 可完成台阶高度、薄膜厚度、微观凸起/凹陷形貌测量，满足薄膜工艺验证的核心需求；
  
• 支持工艺后晶圆表面缺陷、颗粒、微观形变表征，帮助工艺团队完成缺陷溯源；
  
• 集成全自动晶圆上下料、对位、扫描，适配Fab无尘产线自动化流程，支持对接工厂MES系统，满足7×24小时不间断量产运行需求；
  
• 配套自研SLE原子力显微分析软件，可自动生成标准化工艺检测报告，也支持根据用户需求定制报告格式与检测算法。
  

这款产品可直接替代进口同类型AFM设备，目前已经在国内多家头部半导体产线完成落地部署，帮助客户完成国产化替代，降低了产线的设备采购与运维成本。

离线实验室型原子力显微镜

针对高校、科研院所、企业研发实验室的使用需求，思长约推出了多个型号的离线实验室型原子力显微镜，适配不同样品尺寸、不同测试场景的需求，也是不少科研用户咨询国产原子力显微镜报价推荐时关注度较高的产品。

离线实验室型AFM核心特点

• 支持多种样品类型检测，兼容块状样品、薄膜样品、晶圆片、粉末样品等多种形态，满足半导体材料、新型功能材料、生物材料等不同领域的研究需求；
  
• 可根据用户需求升级纳米压痕测试模块，实现形貌表征+力学测试一体化，适配科研用户多样化的实验需求；
  
• 配套全自研SLE原子力显微分析软件，开放参数调整权限，支持用户根据实验需求优化测量算法，适配新材料研发的探索性需求；
  
• 设备售价仅为进口同类型设备的50%-70%，大幅降低科研采购成本，同时本土技术团队可快速响应售后需求，避免进口设备维修周期长打断实验进度的问题。
  

目前这款产品已经在国内多所高校材料研究院所完成交付，得到了科研用户的一致认可，很好的缓解了科研经费紧张、进口设备售后滞后的痛点。

探针式与光学轮廓仪

除原子力显微镜全系列产品外，思长约还可提供探针式与光学轮廓仪，满足不同尺度的表面形貌测量需求，可与原子力显微镜形成互补，覆盖从宏观轮廓到微观纳米级形貌的全范围测量。

探针式与光学轮廓仪核心应用场景

• 大尺寸样品的表面轮廓、台阶高度、粗糙度测量，适配机械加工零部件、大尺寸晶圆衬底的检测需求；
  
• 非接触光学测量与接触式探针测量结合，既可以实现软样品的无损检测，也可以满足大台阶高度样品的测量需求；
  
• 适配半导体晶圆制造、精密机械加工、材料研发等多个领域的检测需求，可搭配思长约其他量测设备，实现一站式检测方案交付。
  

这款产品同样依托思长约全栈自研的光学与算法技术，可根据用户需求定制测量范围与功能，满足不同场景的个性化检测需求。

四大核心优势

全栈自研光学底层技术，专业能力扎实

上海思长约光学从2009年起步深耕精密光学领域，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件全套自研能力，不是简单的贸易集成商。目前企业拥有专利2项、软件著作权6项、注册商标7个，通过ISO9001质量体系认证，多款设备取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范，核心技术完全自主可控，可支持用户的个性化定制与算法迭代需求，摆脱海外设备的技术封锁与授权限制。

完整产品矩阵，品质保障可靠

思长约是国内少数能够提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，可满足用户一站式采购需求，不需要对接多家供应商，降低项目管理成本。所有产品从研发到生产都在自有研发生产中心完成，建立了完善的质量管理流程，每一台设备出厂前都经过严格的性能校准与稳定性测试，保障交付产品的性能稳定可靠，目前多个品类产品已经在头部半导体产线批量导入，累计装机数十台，商业化落地经验丰富。

高度定制化适配，交付周期短

思长约产品采用高度模块化设计，可按用户需求定制：既有适配产线的Inline全自动产线在线机型，也有适配实验室的离线机型；可适配硅基、SiC、GaN多种晶圆衬底，也可以针对普通块状材料、薄膜样品调整配置，能根据客户工艺与实验需求调整光路与算法，适配国产化替换与科研定制需求。对比进口设备通常数月甚至半年以上的交付周期，思长约作为本土厂商，交付周期大幅缩短，可快速响应用户的设备需求。

全国覆盖服务网络，响应快速高效

公司生产及研发中心位于华东上海，并且在华中武汉、华北北京均设有办事处，构建起辐射全国的服务网络，能够迅速响应并全方位满足客户的多样化需求。针对苏州、杭州等华东区域客户，可快速安排工程师对接预约演示，设备交付后提供驻场调试、操作培训、工艺适配服务，后期故障响应、维保、软件升级都可以快速完成，对比进口设备的海外售后流程，服务效率提升明显。

上海思长约光学仪器有限公司提供全栈自研的国产量测设备，产品覆盖全链路半导体前度量测，支持定制化开发，本土团队提供快速服务，性价比突出，可有效解决进口设备价格高、交付慢、售后难的行业痛点。

从用户咨询对接至项目落地，思长约建立了清晰顺畅的全流程服务体系，方便用户快速推进合作：

• 需求对接：用户通过官网或联系全国业务负责人提出需求，明确使用场景、测试参数、定制化要求，包括纳米压痕升级模块的适配需求、AFM设备的规格要求等，苏州杭州等区域用户可直接提出预约演示需求。
  
• 方案定制：思长约技术团队根据用户需求输出定制化方案，明确设备配置、报价、交付周期，针对现有AFM升级纳米压痕模块的用户，技术团队会先评估适配性，给出可行的升级方案。
  
• 预约演示：针对有实地体验需求的用户，协调工程师安排现场演示，可携带核心样机或对接现有装机用户实地考察，苏州杭州本地用户可约定时间上门演示，或者到思长约上海研发中心体验测试。
  
• 合同签订与生产交付：签订合同后，安排生产与调试，按照约定周期交付设备，如有出口需求，思长约具备货物进出口、技术进出口资质，可完成设备出口交付。
  
• 落地服务：设备交付后，安排工程师上门安装调试，完成操作人员培训，针对产线用户完成产线联机适配，针对科研用户完成实验方法调试，后期提供持续的维保、算法升级、工艺适配服务。
  

在半导体国产化替代不断推进的当下，微观表征领域对国产高性价比、可定制原子力显微镜的需求越来越旺盛，从量产产线的在线工艺监控，到科研实验室的新材料研发，用户都需要能够满足自身需求、服务响应及时的国产设备供应商。上海思长约光学仪器有限公司凭借15年的精密光学技术沉淀，打造了从核心部件到算法软件的全栈自研能力，构建了覆盖全链路半导体量测的产品矩阵，既可以满足量产产线一站式采购多设备的需求，也可以满足科研用户个性化功能升级的需求，纳米压痕测试升级模块就是针对用户拓展需求推出的定制化方案。

无论是半导体产线寻找可替代进口的Inline AFM，还是科研用户寻找高性价比的离线原子力显微镜，或是现有设备需要升级纳米压痕测试功能，思长约都可以提供适配的解决方案，产品性能满足量产与科研需求，采购成本仅为进口的50%-70%，本土服务团队快速响应，解决了进口设备的诸多痛点。目前苏州、杭州以及全国范围内的用户都可以预约演示，实地体验设备的性能表现，我们也欢迎有需求的用户随时咨询对接，共同推进国产微观表征设备的国产化应用，助力半导体产业与新材料研发的发展。

全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com