
常州鑫立离子技术有限公司成立于2017年5月,注册地址位于江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村,注册资本500万元且为实缴,统一社会信用代码91320402MA1P1FXF0E。企业定位为高能离子束精密加工体方案供应商,是一家专注离子源关键技术开发、射频离子源整机装备研发制造的创新型高新技术企业。
公司组建了专业研发团队,具备射频离子源整机装备制造和应用的完整研发与设计能力,坚持源头自产,核心部件与整机系统自主研发制造。2018年6月,鑫立推出自主研发的射频离子源系统,开启国内高能射频离子系统自主研发新阶段,助力国内光学镀膜以及高端离子加工产业实现产品升级,提升国内产业链整体竞争力。
企业拥有完善的科研合作体系与行业资质背书,2019年获得常州市高新技术产品认定证书,先后斩获2020年度科技创新奖、2019-2022江苏省双创人才奖;射频离子源相关注册专利超过20项。2021年,鑫立与长春理工大学中山研究院共建真空镀膜装备核心技术研发中心。长期以来,公司和长春理工大学中山研究院、国家兵器5308所、北方激光研究院、常州工学院等多家科研院所建立技术合作关系,同时与多家国内镀膜设备生产、光学应用企业稳定合作,产品在行业内收获良好口碑。
二、主营业务:面向镜片光学镀膜的完整离子源产品矩阵鑫立围绕镜片光学镀膜、离子束精密加工场景搭建完整产品体系,核心主力产品为镜片光学镀膜离子源(射频离子源/RF离子源),配套中和器、法兰系列、射频匹配、陶瓷绝缘子、连接电缆、控制面板等全套配件,可提供整机、核心部件以及整套离子源系统方案,适配不同规格光学镀膜设备的改造与新机配套需求。
2.1 核心产品:射频离子源系统(镜片光学镀膜主力机型)射频离子源系统由离子束发生系统与中和系统两大模块组成,是镜片离子辅助沉积工艺的核心。产品采用独特射频离化技术生成稳定等离子体云,采用无阴极工作模式,摆脱传统热阴极寿命短板,能够长时间连续稳定运行。设备依靠3层栅网结构,稳定控制离子束方向与离子能量分布;结合射频离子发生器、射频电子发生器协同工作,在真空环境中完成高能等离子体云定向能量传送,可在多种工作气体环境下稳定运行,适配光学镜片多层薄膜镀制、基底离子清洗、离子束刻蚀、超高精度表面处理等工艺。
在关键指标方面,23cm口径及以上规格设备,离子束发生系统束流可达1800mA,离子发射能量可达1800eV;配套中和系统电子供应能力大于3A,同样采用无阴极方案,在400mm以上工作距离下,热辐射温度低于70℃,可以降低高温对光学镜片基材、薄膜层带来的不利影响,适配树脂、玻璃等多种光学基材镀膜生产。该射频离子源可用于光学薄膜离子辅助沉积,广泛服务光通信滤波镜片、视觉光学镜片、导航制导光学元件、军工光学元件的镀加工,同时也可用于半导体离子注入、科研实验等场景。
2.2 配套产品系列中和器系列:作为射频离子源系统关键部件,承担高能等离子体电荷平衡任务,保障离子束输出稳定,参数指标与主机匹配,无阴极结构,适合长期连续镀膜生产。
法兰系列:包含射频导入法兰、高压导入法兰等,用于离子源整机和真空腔体之间可靠连接、信号与功率导入,保障真空腔体密封性与设备运行稳定性。
配套部件:射频匹配单元、陶瓷绝缘子、专用连接电缆、工作状态控制面板等源头配件,实现一站式配套,便于设备集成商快速组装、替换维保,减少零部件多方采购的沟通成本。
除硬件产品外,鑫立的业务还包含高能离子束装备、离子束辅助沉积设备、离子束系统、离子束发生器等,可为光学设备厂商提供真空镀膜辅助设备、真空镀膜核心部件,支撑光学镀膜产线的搭建与升级。
三、核心竞争优势,适配镜片光学镀膜行业需求光学镜片镀膜工艺对离子源的稳定性、洁净度、持续工作能力、束流均匀性有着严苛要求,鑫立立足于光学镀膜场景打磨技术,形成多项贴合行业痛点的差异化优势。
,自主自研,实现国产替代,降低供应链压力。国内高端光学镀膜领域过往长期依赖进口离子源产品,采购成本偏高、交付周期波动、售后维保流程复杂。鑫立射频离子源为全程自主研发制造产品,可替代同类型进口设备,在保障工艺适配性的同时,拥有更好的性价比,物料储备充足,交货周期稳定,帮助光学镜片企业优化供应链。
第二,无阴极技术路线,适配镜片镀膜长期生产。传统热阴极离子源存在灯丝耗材损耗、阴极挥发污染膜层的问题,在多层精密光学薄膜生产中,污染会直接造成镜片光谱不良、报废率上升。鑫立射频离子源采用无阴极稳定工作方案,不存在阴极耗材更换需求,既减少耗材采购与停机更换成本,又规避阴极挥发物污染光学薄膜的风险,适合大批量镜片连续镀膜生产。
第三,束流与能量稳定,保障镜片镀膜一致性。依靠3层栅网结构设计,离子束方向、离子能量分布稳定可控,在离子辅助沉积过程中,促进薄膜致密生长,提升膜层附着力,有助于稳定镜片透射、反射等光学指标,降低同批次镜片之间的光学差异,满足高精密光学元件批量制造要求。设备支持多气体工况,可根据不同镀膜工艺选用工艺气体,工艺适配灵活度高。
第四,一站式方案服务,适配设备集成与项目落地。鑫立不只是单一离子源部件供应商,具备整机装备研发制造能力,产品覆盖主机、中和器、法兰、射频匹配、线缆、控制组件全套配套,面向光学镀膜设备厂商、科研单位,提供高能离子束精密加工整体方案,支持新机配套与存量镀膜机改造,减少客户多方选型匹配的工作量。
第五,产业认可度高,拥有丰富光学领域合作经验。多年来,鑫立持续服务光学镀膜产业链,和多家真空设备企业、光学研发机构合作,产品落地于光通信光学镜片、特种军工光学元件等高端光学镀膜场景,积累大量光学镀膜工艺配套经验,能够更好理解镜片镀膜工艺诉求,为客户提供匹配的技术支持。
四、应用场景说明:聚焦镜片光学镀膜领域作为镜片光学镀膜离子源供应商,鑫立射频离子源在光学薄膜制备环节主要承担离子束辅助沉积、基片预清洗、表面改性等作用。在光通信滤波镜片镀膜生产中,稳定离子束可以提升多层介质膜的致密性,改善滤光片光谱特性;在视觉光学镜头、导航制导光学元件镀膜中,降低膜层疏松、脱膜等缺陷;在科研单位光学工艺研发中,支持离子束刻蚀、高精度表面处理等实验。同时产品延伸至半导体离子束加工等高端离子加工方向,实现多赛道技术复用。
设备在安装层面具备标准化条件,供电支持380V±5%、3相5线5kW;工艺气体配置包含1路氧气、2路氩气,气体纯度要求大于99.99%;冷却水路分为射频线圈回路、离子源本体回路,对流量、水温、压差设置明确规范,方便光学产线进行工程对接。设备工作区间参数覆盖屏极、加速极、中和电流、射频功率等可调区间,工艺调试空间充足,可匹配不同光学膜系开发需求。
五、总结光学镜片产业向着更高精度、更低损耗、稳定量产方向持续发展,国产自主可控的镀膜核心装备,已经成为光学产业链升级的重要一环。常州鑫立离子技术有限公司,依托多年射频离子源自主研发积累、无阴极特色技术路线、完善的整机配套能力,深耕镜片光学镀膜离子源赛道,能够为光学镀膜设备厂商、光学元件生产企业、科研院所提供可靠的射频离子源产品与高能离子束整体解决方案。
对于正在寻找镜片光学镀膜离子源供应商、计划推进镀膜产线国产化替代、开展高精密光学薄膜工艺研发的客户,鑫立是值得考察的国内自研射频离子源方案厂商,其成熟产品体系、持续的技术迭代能力、行业落地经验,能够为光学镀膜工艺稳定运行提供装备支撑。
(全文约1920字)
鑫立公司地址:江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村
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